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高精度超薄薄膜质料丈量

       开放型的谐振腔Fabry-Perot谐振器(开腔型的一种)可以提供在毫米波规模内超薄薄膜的相对介电常数和介电消耗角正切高精度的丈量 ,使用Windows盘算机软件配套程序可自动举行丈量 ,并且被测件的装置和移除很是适用利便 。


                                                           

                                        实物图                                                                               原理图                                                                                              丈量软件

 

       Fabry-Perot谐振器可以实现可知足固体 ,薄膜 ,超薄膜(薄膜) ,多层结构(多层体) ,体模 ,噪声抑制片 ,液体 ,粉末等等大部分质料的测试需求 。例如可丈量PTFE(铁氟龙) ,PFA ,FEP ,ETFE ,聚酰亚 ,尼龙 ,聚氨酯 ,聚乙烯 ,PVC ,高纯氧化铝 ,蓝宝石 ,石英玻璃 ,陶瓷 ,硅基底 ,绝缘膜 ,聚酰胺酰亚胺 ,乙醇 ,玻璃 ,钠 ,PET ,聚酰胺 ,甲醇 ,酯 ,多孔硅 ,多孔二氧化硅 ,low-k等质料 。


      Fabry-Perot谐振器操作简朴 ,支持0.1μm超薄膜、10μm~0.1mm的薄膜 ,测试规模 18GHz-110GHz举行εr±3%、tanδ±7%的高精度丈量 ?啥怨烫 ,薄板 ,薄膜 ,粉末 ,液体(含油等) ,多层结构等举行测试 ,测试规模10μHz-140GHz(使用多个装备) 。


项目

规格内容

频率

20~325GHz

相对介电常数

丈量规模:1.05~30 

重复准确水平:±1%或±0.01(取决于网络剖析仪的丈量精度)

重复准确水平+关于真实数据的准确度(以PTFE为标准):±3%或±0.01(取决于测试理论和设计夹具的要领)

介质消耗因数

丈量规模:0.0001~0.05

重复准确水平:±3%或±0.0001(取决于网络剖析仪的丈量精度)

重复准确水平+关于真实数据的准确度(以PTFE为标准):±7%或±0.0001(取决于测试理论和设计夹具的要领)

样件形状

<样件尺寸>

120mm x 120mm以上 (20GHz)

80mm x 80mm以上 (50GHz)

<样件厚度>

板材厚度为5 μm~0.2mm

或者半波长的整数倍

仪器尺寸

900mm(H) x 900mm(W) x 600mm(D)以内

500mm(H) x 700mm(W) x 300mm(D)以内(单面扁平型)

温度规模

通例版本:室温

特殊版本:请指定您的需求


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